인장 Tension
에칭 공정이 완료된 메탈 마스크는 증착 공정에 사용되기 위해 인바 소재의 메탈 프레임에 부착됩니다. 이 때 제작된 메탈 마스크와 도면과의 오차를 줄이고 인바의 처짐을 방지하기 위해 메탈 마스크에 텐션을 주는 인장 공정을 거치게 됩니다.
인바 원자재의 특성상 마스크를 당겼을 때의 처짐의 정도를 예측하거나 조절하기 어렵고 원래의 모양대로 돌아가려는 특성이 있어
많은 노하우(Know-How)를 요구하는 공정입니다.
㈜세우인코퍼레이션에서는 3D 시뮬레이터로 인장 시 제품에 가해지는 힘과 처짐량을
예측하고, 인장 공정에 AI 알고리즘을 도입하는 등의 연구 개발을 진행하고 있습니다. 세우인코퍼레이션만의 특별한 기술력으로 동종
업계 최고 스펙(spec)의 마스크를 제작하고 있습니다.
용접 Welding
메탈 마스크의 인장 공정을 거쳐 마스크의 스펙을 도면과 일치시킨 후, 마스크를 용접을 통해 프레임에 고정시킵니다.
인장 공정에 의해 당겨진 마스크에 가해지는 힘이 수 백 킬로그램에 달하기 때문에, 인력을 버틸 만큼 강하면서도 프레임과 마스크에
변형을 가져오지 않는 용접 기술이 요구됩니다.
㈜세우인코퍼레이션에서는 자체적으로 개발한 용접 알고리즘과 장비를 통해 제품 세부 사항을 반영하여 최상의 메탈 마스크 용접을 진행하고 있습니다.
측정 Measurement
용접 공정을 마친 메탈 마스크의 제작 정밀도 확인을 위해 메탈 마스크의 각 위치 좌표를 측정합니다.
검사 Inspection
AOI 검사 장비를 통해 메탈 마스크 외관의 불량 여부를 판정합니다.
코팅 Coating
제작이 완료된 메탈 마스크 표면을 절연막으로 코팅하는 공정입니다.
드라이 에칭 Dry Etching
MASK Cutting / Half Etching / Hole 가공 공정 개발 완료
CELL SIZE 정밀화
H/E Dep. 및 Uni 개선
Align Key 정밀도 개선
에칭
에칭 + LASER
구분 | 개선항목 | ETCHING | LASER |
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MASK Cutting | Cell Size | ±40um | ±20um |
Half Etching | Dep & Uni | 10 ~ 15um | ±2um |
Align Key | Size & Position | ±50um | ±10um |