OLED用マスク
OLEDディスプレイ製造時に特定の位置にの
み蒸着されるようにする薄い板です。
ディスプレイ製造過程でバックプレーン(Backplane)
が完了した後、その上に発光層を形成するための
蒸着工程で使用されます。
蒸着工程の時にOLED基板上に形成される
薄膜パターンと同じパターンを持つメタルマスク(Metal Mask)
を整列し、薄膜の
元素材を蒸着して希望するパターンの
薄膜を形成させるのでOLEDマスクの精度がOLED基板の
解像度を決定することになります。
SEWOOINCORPORATIONの高精度OLEDマスクは国内外の
最高ディスプレイメーカーに納品され、最高のOLED基板および
Flexible Display製造工程に使用されています。
RIGID : OLEDマスクの一種で一般的なOLED(Rigid OLED)の
元枚(Mother Glass)に有機物パターン蒸着工程に使われる。
CVD : OLED有機材料を保護する薄膜袋工程に必要な
化学気相蒸着工程に使用されるマスクでOLEDマスクの一種。
OLEDはピクセル(Pixel)単位で
ディスプレイ上にイメージを表現します。
この時に光の三原色であるRed、Green、Blue色の
組み合わせによってピクセルの色が決まります。
それぞれの色を発光する有機物の サブピクセル(Sub Pixel)を形成する所に、 OLEDマスクが使用されます。
OLEDディスプレイ元枚の各ピクセルにR、G、Bに該当する
発光有機物が正確な位置に蒸着されなければなりません。
この時にOLEDマスクの小さくて細かい
円形パターンを通じて発光有機物が希望する
位置に蒸着されるようにします。
サブピクセル蒸着が完了すると、OLEDの発光層(EML)が完成し、
その後発光補助層成膜および封止(Encapsulation)
工程を進めることになります。
ステッキ
大型OLED基板が作られる
時は分割マスクを使用します。
OLED工程に使われるメタルマスクはインバー(Invar)という原材料を通じて製作されますが、
分割マスク使用時に原材料のたるみを最小化し、マスクのアライン(Align)に使われるのがスティッキです。
インバーの物性によりマスクのたるみを予測し、防止することが難しくてアライメントスティッキの
精度が大型基板の
スペックに直結するため、スティッキ製作に厳しい技術が要求されます。
SEWOOINCORPORATIONは長い期間の研究と開発を通じて独自の
スティッキ製造技術を研究してきており、
SEWOOINCORPORATIONのノウハウが込められた装備で
世界最高水準のスティッキを製造して納品しています。
ステッキの種類 : Alignのステッキ, TV用スチッキ, その他のスチッキ