张网 Tension

蚀刻工艺完成后，将sheet贴附到invar材料的金属框架frame上，以用于沉积工艺。
此时，它会经过一个张网过程，对sheet施加张力，以减少实际sheet与图纸之间的误差，并防止invar材料下垂。

由于invar原材料的特性，在牵拉sheet时，很难预测或控制下垂的程度，而且很容易恢复到原来的形状，
因此这是一个需要大量技巧的过程. Sewoo Incorporation 正在进行研究和开发，例如使用 3D 模拟器预测张网过程中施加在
产品上的力和下垂量的大小，并将 AI 算法引入张网过程。 Sewoo Corporation 正以自己特殊技术来生产业界最高规格的MASK。

焊接 Welding

通过金属掩膜版张网工艺，将sheet规格与图纸相匹配后，通过焊接将sheet固定在frame上。
由于张网过程对sheet施加的拉力可达数百公斤，因此需要一种强度足以承受该力且不会使frame和sheet变形的焊接技术。

Sewoo Inc.通过自己开发的焊接算法和设备反映在改进产品的细节上，从而进行领先行业的金属掩膜板焊接工艺。

测量 Measurement

为了在焊接工序后检查金属掩膜板的制造精度，测量金属掩膜板每个位置的坐标。

检查 Inspection

通过AOI 检测设备确定金属掩膜外部是否有缺陷。

涂层 Coating

这是在已经制作完成的金属掩膜板表面涂上一层绝缘膜的工序。

干蚀刻 Dry Etching

MASK Cutting / Half Etching / Hole 加工工程开发完成

• CELL SIZE 精密化

• H/E Dep. & Uni 改善

• Align Key 精度改善